東北大学未来科学技術共同研究センター 半導体研究グループ

NICHeには21もの研究プロジェクトが遂行されており、
その内8つの研究グループが半導体産業に関しています。
これらの8グループが東北大学 半導体テクノロジー共創体と
連携を取りながら研究活動に勤しんでおります。

半導体製造工程

デバイス設計
  • 革新的イメージセンサ・計測技術を基盤とした高精度半導体集積回路製造技術の開発 Development of Advanced Semiconductor Integrated Circuit Manufacturing Technologies based on Innovative Image Sensors and Metrology

    プロジェクトリーダー/黒田 理人 教授
    出演/黒田 理人 教授

  • 安全・安心マイクロシステムの研究開発 Research and Development of Micro Systems for Safety and Security

    半導体微細加工技術によるMEMS MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) by Semiconductor Micro-Fabrication Technology

    プロジェクトリーダー/羽根 一博 特任教授
    出演/羽根 一博 特任教授

バルク単結晶育成(ベアウエハ)
  • 持続可能な社会に資する結晶材料・応用デバイスの開発 Development of Crystals and Application Devices contributing to Sustainable Society

    持続可能な社会に資する結晶材料・量産技術の開発 Development of high quality crystals and its mass production technologies that contribute to a sustainable society

    プロジェクトリーダー/吉川 彰 教授
    出演/吉川 彰 教授

薄膜結晶成長(膜付きウエハ/前工程)
  • 窒化物半導体の結晶成長と光デバイス・電子デバイスの研究 Research on Crystal Growth and Optical and Electrical Devices of Nitride Semiconductors

    半導体材料から素子までの研究開発 Research and Development of Semiconductors from Materials and Device

    プロジェクトリーダー/末光 哲也 特任教授
    出演/松岡 隆志 学術研究員

回路形成(半導体チップ/前工程)
  • インターコネクト・アドバンスト・テクノロジー(ICAT)共同研究プロジェクト Joint Research Project on Interconnect Advanced Technology

    ナノ配線・バリア・コンタクト材料 Nano-Electrode/Barrier/Contact Materials

    プロジェクトリーダー/小池 淳一 特任教授
    出演/小池 淳一 特任教授

チップレット集積(中工程)
  • ホリスティック三次元集積半導体開発とオープンイノベーション拠点の構築 Center for Holistically Integrated and Packaged Systems (Tohoku CHIPS)

    プロジェクトリーダー/福島 誉史 准教授
    出演/福島 誉史 准教授

元素戦略
  • 次世代冶金工程開発プロジェクト Development of Advanced Metallurgical Processes for Next Generation

    プロジェクトリーダー/長坂 徹也 教授
    出演/長坂 徹也 教授