未来情報産業研究館の紹介

■概要■
この建物は、わが国の半導体・平板ディスプレイ分野に革命的飛躍をもたらすべく、東北大学が展開する”新半導体・ディスプレイ産業創製プロジェクト”の趣旨に賛同いただいた産業界の方々のご支援により建てられました。
■特徴■
徹底した省エネルギー対策とともにナノメートルレベルの超微細加工・超高精密計測を実現するために電源電圧の変動、微細同などあらゆる汚染、ゆらぎ、変動を徹底的に制御し、設計から製造、テストまで一貫して行える研究施設となっています。
地下1階から4階までにそれぞれ605㎡と692㎡のクリーンスペースを有するクリーンルームが2層あり、5階は教授室、会議室、6階は設計CAD、測定評価室および研究者のための居室となっています(6階建、約6,400㎡)。

未来情報産業研究館

未来情報産業研究館